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光罩設(shè)備
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光罩國(guó)產(chǎn)化：五年變了天地
除了基板材料外，電子束光刻膠，化學(xué)特氣，各種電子級(jí)化學(xué)前驅(qū)體等耗材在2020年以前也都是依賴(lài)進(jìn)口的，目前已有數(shù)種開(kāi)始實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化并在國(guó)內(nèi)光罩廠得到應(yīng)用和推廣，例如點(diǎn)亮準(zhǔn)分子激光使用的氬氪氖氣體。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫
